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详情描述
工厂低价转让一台 2014年机械 品牌:日立 型号射线荧光镀层厚度测量仪
技术参数:
产品规格
可测量元素:原子序数
X射线聚光:聚光方式
X射线源:管电压:50kV
管电流:1mA
检测器:Vortex检测器(无需液氮)
分析范围:0.1mm、5mm
样品观察:彩色CCD摄像头(附变焦功能)
滤波器:3种模式自动切换
样品室:样品平台 240(W)×330(D)mm
移动量 X:220mm Y:150mm Z:150mm
载重量 10kg
重量:123kg(不含电脑)
X-ray Station:台式电脑 19LCD (OS MS-Windows XP)
膜厚测量软件:薄膜FP法(多五层,各层十种元素)
检量线法(单层、双层、合金膜厚成分)
定量分析功能:块体FP法
统计处理功能:MS-EXCEL
报告制作:MS-WORD
安装环境:温度
湿度:35%80%
使用电源:接地三头插座
主要特点:
1. 薄膜,多层膜测量
通过采用新型的毛细管(X射线聚光系统)和X射线源,把与以往机型FT9500同等强度的X射线聚集在30 m的极微小范围。因此,不会改变测量精度即可测量几十微米等级的微小范围。
同时,也可对几十纳米等级的AuPdNiCu多镀层的各层膜厚进行高精度测量。
2. 异物分析
通过高能量微小光束和高计数率检测器的组合,可进行微小异物的定性分析。利用CCD摄像头选定样品的异物部分并照射X射线,通过与正常部分的能谱差进行异物的定性分析(AlU)。
3. 数据编辑功能
配备了Microsoft Excel和Microsoft Word。在Microsoft Excel上面配备了统计处理软件,可以进行测量数据、平均值、大小值、C.V.值、Cpk等的统计处理。
另外,通过Microsoft Word可以简单的制作包含了样品画图的测量报告书。
4. 高强度照射
通过高强度照射在微小部分也可以鲜明的观察、聚焦位置。
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